LiteScope AFM-in-SEM

Nur verfügbar in Belgien, den Niederlanden und Luxemburg

Das einzigartige Nenovision Rasterkraftmikroskop LiteScope wurde entwickelt, die Stärken von AFM- und REM-Techniken zu vereinen. Dieses Konzept sorgt für einen effektiven Arbeitsablauf und erweitert die Möglichkeiten der korrelativen Mikroskopie und In-situ-Analyse, was mit herkömmlichen Instrumenten schwierig oder fast unmöglich ist.

  • Multimodale & korrelative In-situ-Analyse
  • Optimierter und zeitsparender Arbeitsablauf
  • Ultimative Leistung im REM
  • Offenes Hardware-Design für einfache Anpassungen

LiteScope-Integration im REM

LiteScope ist für die schnelle und einfache Integration in REMs verschiedener Hersteller im “Plug & Play”-Modus konzipiert. Wir stellen entsprechende Adapter und Durchführungen zur Verfügung, die an die Kundenanforderungen angepasst werden können.

Die Installation ist sehr einfach und kann von jedem REM-Nutzer leicht durchgeführt werden. Zunächst wird das LiteScope mit vier Schrauben an der Adaptionsplatte befestigt, die auf dem REM-Probentisch montiert ist. Die elektrischen Kabel werden anschließend in die vorbereitete Vakuumdurchführung eingesteckt. Insgesamt dauert der gesamte Prozess der Montage und eventuellen Demontage des Geräts nur wenige Minuten.

Das LiteScope ist über seine Steuereinheit mit demselben PC verbunden, der auch für die Steuerung des REM verwendet wird. Dieser kompakte Aufbau ermöglicht es, die korrelativen AFM-in-REM-Messungen an einem Gerät mit Hilfe der NenoView-Software durchzuführen.

Informieren Sie sich hier über unsere SEM-Lösungen

Vorteile der AFM-im-REM-Lösung

Komplexe und korrelative Probenanalyse

Modernste CPEM-Technologie ermöglicht die gleichzeitige Erfassung von AFM- und REM-Daten und deren nahtlose Korrelation.

In-situ-Probencharakterisierung

In-situ-Bedingungen im REM gewährleisten die Probenanalyse zur gleichen Zeit, am gleichen Ort und unter den gleichen Bedingungen.

Präzise Lokalisierung des Bereichs von Interesse

Die äußerst präzise und zeitsparende Annäherung nutzt das REM, um die AFM-Spitze zum Bereich von Interesse zu navigieren.

Komplexe in-situ Charakterisierung

AFM bietet eine neue “”inside-to-SEM”” Methode zur Charakterisierung, mit der eine Vielzahl von Eigenschaften analysiert werden kann:

Mechanische Materialeigenschaften

  • Topographie
  • lokale elastische Eigenschaften (Tapping & Contact Mode)
  • lokale Probenhärte (nicht-topographisch)
  • Tiefenabhängige Materialcharakterisierung
  • verschiedene In-situ-Operationen

Magnetische Materialeigenschaften

  • Abbildung magnetischer Domänen

Elektromechanische Materialeigenschaften

  • Abbildung piezoelektrischer Domänen

Elektrische Materialeigenschaften

  • Leitfähigkeitskarte (einschließlich isolierter Bereiche)
  • lokales Oberflächenpotential
  • lokale elektrische Eigenschaften (nicht-topographisch)
  • Sub-Nanometer-Topographie

Möchten Sie mehr über AFM-in-SEM erfahren?